溫區(qū): 單溫區(qū)電爐 雙溫區(qū)電爐
溫度: 室溫-1100℃
GSL-1200X滑動(dòng)式帶預(yù)加熱系統(tǒng)四路質(zhì)子流量控制雙溫區(qū)PECVD管式電爐 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和無(wú)油機(jī)械泵機(jī)組，這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。
技術(shù)參數(shù)
可選爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度
滑軌式快速加熱和快速冷卻
預(yù)加熱系統(tǒng)可提前預(yù)熱，預(yù)熱溫度范圍室溫-1100℃
兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度最大可達(dá) 200℃
最高工作溫度1100℃
提供一個(gè)寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
等離子發(fā)射源
輸出功率: 5 -500W ± 1% .
射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
反射功率: 最大 200W
匹配: 自動(dòng)
射頻接口: 50 Ω, N-type
噪音: <50 dB.
冷卻: 風(fēng)冷
電源: AC 208-240V, 50/60Hz
無(wú)油真空泵機(jī)組
Pfeiffer（德國(guó)）高速( 226L/min) 無(wú)油干泵, 極限真空10E-3 Torr L
KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連.
管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
數(shù)字真空計(jì)安裝在左法蘭上.
可選：鄭州科晶公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
質(zhì)量流量計(jì)
四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制.
MFC 1范圍: 0~100 sccm
MFC 2和3: 0~200 sccm
MFC 4范圍: 0~500 sccm
一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口.
4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體.
進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
控溫軟件
計(jì)算機(jī)可以通過(guò)控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購(gòu)買數(shù)據(jù)線和一個(gè)控制模塊
為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).
總尺寸
爐體: 550 x 380 x 520 mm
滑軌: 1750 mm 長(zhǎng)
移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm.
凈重: 100Kg.
質(zhì)量認(rèn)證：
