CVD化學氣相淀積試驗技術解釋分析
新聞分類: 技術資訊 瀏覽:2218 日期:2012/12/31
CVD全英文是Chemical Vapor Deposition中文是“化學氣相淀積”,是指含有構成薄膜元素的氣態反應劑,液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室里,管式電爐在襯底表面發生化學反應生成薄膜的重要過程。 在超大規模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備經過CVD處理后,表面處理膜密著性約提高30%,防止高強力鋼的彎曲,拉伸等成形時產生的刮痕。
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