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CVD化學氣相淀積試驗技術解釋分析
新聞分類:  技術資訊    瀏覽:2218    日期:2012/12/31    

    CVD全英文是Chemical Vapor Deposition中文是“化學氣相淀積”,是指含有構成薄膜元素的氣態反應劑,液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室里,管式電爐在襯底表面發生化學反應生成薄膜的重要過程。

 
     曾經在VCD機生產商競爭的年代,內部定制的一種碟片標準,具有多層菜單,用的C-CUBE公司的芯片. 

    在超大規模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備經過CVD處理后,表面處理膜密著性約提高30%,防止高強力鋼的彎曲,拉伸等成形時產生的刮痕。

    CVD的特點淀積溫度低,薄膜成份易控膜厚淀積時間成正比,均勻性重復性好,電爐臺階覆蓋性優良。

 

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