如改變閥片結構和材料以減小排氣噪聲;采用三缸式滑閥泵,使滑閥泵運行平穩等。我國出產真空獲得設備從20世紀30年代開始起步,目前年產量已達12萬臺左右,電爐產品品種和質量基本能夠知足海內市場需求,鄭州科晶電爐采取了改進閥片材料、嚴格控制油量、選擇低噪聲電機等手段,使噪聲降低。
真空泵的機能質量不僅僅取決于出產廠制造本身,大量的配套產品對真空泵的質量起到了至關重要的作用,如軸承、齒輪、動密封、靜密封、電機、真空泵油等等,因此真空泵制造廠選用優質的配套產品對進步產品質量是十分有效的。
泵的噪聲不符合尺度要求,一些減少泵振動和噪聲的新技術,新結構滑閥泵在海內不斷有人研制。一些企業因為缺少抽氣效率指標的檢測前提,產品出廠沒有經由檢測監控把關,使該項指標長期得不到改善和解決。
我國旋片泵出產設計水平、加工制造以及機能都已趨向成熟。中國入世后面對激烈的國際市場競爭,海內真空獲得設備在質量水平上與發達國家的差距亟待我們冷靜思索,研究對策。按尺度劃定,當旋片泵在進口壓力為2Pa時,表征泵抽氣能力的指標——抽氣效率應達到45%以上。
海內真空獲得設備在質量目前國內產的油擴散泵存在的主要題目是返油嚴峻,使油擴散泵的使用前提受到限制,共性的質量題目還有產品的耐久性和可靠性較差。旋片泵的噪聲主要來源于三方面:泵油對閥片的沖擊產生的噪聲;管式電爐配用電機產生的噪聲;振動、旋轉件產生的噪聲。箱式電爐目前旋片泵中皮帶泵約有80%的產品,直聯泵約有50%的產品,質量能夠達到行業尺度要求,但仍存在以下題目:
2Pa時的抽速過低,抽氣效率達不到尺度要求。存在的題目是軸封漏油嚴峻;振動、噪聲大,有的產品動平衡不好,也有的齒輪、軸承精度不夠;一些產品的零流量壓縮比以及最大答應奪差達不到尺度要求;有的企業出產工藝裝備落后,不能保證零部件的加工精度和裝配精度。近幾年海內主要出產廠對旋片泵的噴油、漏油題目下了很大的力氣加以解決,成效明顯,但是仍有約20%的旋片泵噴油、漏油。如H-150滑閥泵,海內產品大多數要用地腳螺栓,否則因為振動,泵爬行嚴峻。
滑閥泵的噪聲形成機理比較復雜,普遍以為是多方共同作用的結果。
噴油和漏油題目。但目前旋片泵分歧格產品中,仍有20%的產品噪聲分歧格。該泵的特點是結構簡樸、無機械運動部件、壽命長、不易損壞、在高真空范圍內抽速大。
目前國產羅茨泵產品質量相差比較懸殊,老的出產企業產品機能指標一般能夠達到或超過尺度要求。一方面是因為某些產品的進口直徑沒有執行尺度,造成通導不足;一方面是因為零部件加工和裝配題目,引起泵的返流、泄漏及管阻加大。
羅茨泵 該泵極限壓力可達到5×10-2Pa,其特點為抽速大、抽氣時間短、無污染。多數滑閥泵啟動時噴油嚴峻,運轉后漏油。因為出產加工裝備落后,使出產效率低,零部件的互換性差,影響了產品的不亂性和可靠性。
我國滑閥泵質量經由多年的市場磨練,主要技術機能如極限壓力、抽速、抽氣效率等指標已經得到大大改善,特別是近幾年,為解決滑閥泵的噪聲、振動等題目,出產企業與大專院校聯合,從理論到加工工藝都進行了卓有成效的探索和努力。盡管如斯,國產滑閥泵與國外產品比擬仍舊存在著以下較大差距:一是噪聲、振動大。
國產羅茨泵仍有30%左右的產品分歧格,假如與國際提高前輩水平比擬,綜合機能差距更大。而真空獲得設備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴散泵。三是停泵返油嚴峻,造成啟動難題,使電機過載。
滑閥泵 該泵加上一些附屬裝置后具有抽出水蒸氣和侵蝕性氣體的能力,其工作壓力范圍寬,經久耐用,故障率低。近幾年該泵在我國發展較快,年產量約為3000臺。二是噴油、漏油。還有的產品極限壓力指標和臨界前級壓力達不到尺度要求,使泵的整體機能降低。如排氣噪聲、機構振動和激勵噪聲、電機與軸承噪聲以及泵油的沖擊噪聲等多種噪聲疊加的結果。
我國在滑閥泵的外觀質量上也進行了不少探索,產品的外觀結構設計更加美觀,泵體的鑄件質量進步,泵體表面不需打膩子,噴漆后可組裝,外觀向儀器儀表化發展。此外,漏水、產品標牌與實際情況不符、螺釘松動、電機皮帶過緊或過松、旋片泵和滑閥泵的氣鎮裝置效果不顯著或失效等題目也比較普遍。我國產品與國外提高前輩國家的產品比擬噪聲普遍高出5分貝以上。
真空獲得設備按品種可分為15大類,按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。四是不亂性、可靠性差。我國油擴散泵的年產量約2500臺。
油擴散泵 該泵是目前海內在高真空范圍內應用最普遍的泵,而目前我國旋片泵的分歧格產品中,80%的產品該項指標較低。一種新型產品HGL-150滑閥泵通過鑒定,該產品三個重要部位采用新型結構,產品不但極限壓力低,而且噪聲比尺度降低6分貝,且運行平穩,無需地腳螺栓。
旋片泵 該泵是所有真空獲得設備中產量最大、應用最普遍的真空泵,全國年產量約10萬臺。目前,99%以上的國產泵不進行可靠性試驗,出產企業對其產品的可靠性指標根本不了解。這些題目造成國產羅茨泵運行不可靠,故障率高,有的泵運轉幾個月就要維修,而德國L-H公司羅茨泵運行數年可以不維修。現全國年產量約為3000臺。